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半導體級超純水怎么制?ROE-EDI工藝流程的“芯”級標準
更新時間:2025-12-26 點擊次數:24

  ROE系列EDI純水系統通常采用二級反滲透(RO)與電去離子(EDI)結合的工藝流程,通過多級物理分離與電化學再生技術,實現高效、穩定、環保的超純水制備。以下是其核心工藝流程及關鍵步驟解析:


  一、EDI純水系統工藝流程概述
  原水→預處理→一級RO→二級RO→EDI→后處理→超純水
  該流程通過反滲透去除大部分雜質,再利用EDI深度脫鹽,最終產出電阻率達15-18.2MΩ·cm的超純水,適用于電子、制藥、電力等高精度用水場景。
  二、分步工藝解析
  1.預處理階段

  (1)目標:去除原水中的懸浮物、有機物、余氯及部分溶解性雜質,保護后續RO膜和EDI模塊。
  (2)關鍵設備:
  多介質過濾器:通過石英砂、活性炭等介質攔截大顆粒雜質。
  軟化器(可選):針對高硬度水源,防止RO膜結垢。
  保安過濾器:采用5μm濾芯,進一步截留微小顆粒。
  (3)作用:降低原水濁度、COD(化學需氧量)和余氯,確保RO進水水質符合要求(如SDI≤3)。
  2.一級反滲透(RO)
  (1)原理:利用半透膜在高壓下(1-10MPa)截留溶解鹽、有機物和微生物,水分子透過膜形成產水。
  (2)關鍵參數:
  脫鹽率:90-99%,產水電導率≤10μS/cm。
  回收率:50-75%,濃水排放。
  (3)作用:去除大部分溶解性雜質,減輕二級RO和EDI負擔。
  3.二級反滲透(RO)
  (1)目標:對一級RO產水進一步提純,降低電導率至1-5μS/cm。
  (2)關鍵設計:
  膜元件選擇:采用抗污染膜或低壓膜,適應不同水質。
  系統配置:可并聯或串聯運行,靈活調整產水量。
  (3)作用:為EDI提供穩定、低電導率的進水,確保EDI高效運行。
  4.電去離子(EDI)
  (1)原理:結合離子交換樹脂與直流電場,實現連續去離子和樹脂再生。
  (2)關鍵組件:
  離子交換膜:陽膜(允許陽離子通過)與陰膜(允許陰離子通過)交替排列,形成濃水室和淡水室。
  離子交換樹脂:填充在膜間隔室,吸附水中殘留離子。
  直流電場:施加50-600V電壓,驅動離子定向遷移。
  (3)工作流程:
  離子吸附:樹脂吸附水中的Na?、Cl?等離子。
  電遷移:離子在電場作用下穿過對應離子膜進入濃水室。
  樹脂再生:水電解產生的H?和OH?持續再生樹脂,保持其交換能力。
  產水輸出:淡水室流出高純水,濃水室排放富集離子的廢水。
  (4)優勢:
  連續運行:無需停機再生,產水水質穩定。
  環保經濟:無酸堿再生,降低化學藥劑使用和廢水處理成本。
  高效脫鹽:產水電阻率達15-18.2MΩ·cm(超純水級別)。
  5.后處理階段
  (1)目標:進一步提升水質,滿足特定行業需求。
  (2)關鍵設備:
  紫外線殺菌器:殺滅水中微生物,防止二次污染。
  拋光混床(可選):采用高純度樹脂進一步去除微量離子。
  終端過濾器:0.22μm濾芯截留微小顆粒,確保出水無菌。
  (3)作用:保障最終產水符合電子級(如SEMI C12標準)或制藥級(如USP標準)要求。
  三、EDI純水系統工藝優勢總結
  1.高效脫鹽:二級RO與EDI協同,脫鹽率≥99.9%,產水電阻率高。
  2.穩定可靠:連續運行,水質波動小,適合工業大規模生產。
  3.環保節能:無化學再生,降低能耗和廢水排放。
  4.自動化程度高:PLC控制,減少人工操作,降低運行成本。
  5.適應性強:可處理地下水、地表水等多種水源,模塊化設計靈活擴展。


  四、應用領域
  1.電子行業:芯片、液晶面板清洗用水。
  2.制藥行業:注射用水(WFI)、原料藥生產用水。
  3.電力行業:鍋爐補給水、核電站一回路水。
  4.實驗室:分析儀器、高精度實驗用水。

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